PrMat对准系统Laterial Gr BP MoS2 Gr device用户手册.pdf

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二维材料转移及对准系统

二维材料转移及对准系统概述

将单层或几层的二维(2D)材料单独或者组装制备范德瓦尔斯(vdW)异质结构,为基于2D材料

的新器件及新功能的设计和制造打开了大门,所制备的器件具有原子精度及前所未有的灵活性。制造这

些结构的核心问题是在各个二维材料之间形成干净的界面,这会影响器件的性能。因此我们设计并搭建

了低维材料定点转移系统,该转移系统由共聚焦显微成像系统,多维度样品台,真空吸附和加热系统等

组成。转移系统广泛应用于电池,半导体及其他低维器件的制备。

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