原创力文档数字式气体质量流量控制器
使用手册
GT-160D
气体质量流量控制器(MassFlowController缩写为MFC)用于对气体的质量流进行精密测量和控制。
它们在半导体集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保等多种领域的科研和生产
中有着重要的作用。典型应用场合有微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气象色
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