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直拉硅单晶工艺学.pdfVIP

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  • 约 135页
  • 2026-04-01 发布于河北
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直拉硅单晶工艺学.pdf

    直拉硅单晶工艺学

    刖a

    本教材是通过多年的实践经验和一定的教学经验编写而成。编写过程力求教材通俗易

    懂，联系生产实际。由于编者水平有限，错误之处在所难免，请读者批评指正，编者深表感

    谢。

    绪论

    硅单晶是一种半导体材料。直拉单晶硅工艺学是研究用直拉方法获得硅单晶的一门科学,

    它研究的

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