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精密设备维护与保养手册（执行版）

第1章设备基础概述

1.1设备分类与特性

精密设备通常分为机械类、电子类、自动化类及特种设备四大类。其中，机械类设备如精密加工机床、高精度测量仪器等，具有高精度、高稳定性及高刚性等特性；电子类设备如半导体制造设备、光刻机等，具有高精度、高集成度及高可靠性等特性；自动化类设备如工业、控制系统等，具有高智能化、高灵活性及高集成化等特性；特种设备如精密分选机、高精度装配机等，具有高精度、高稳定性及高自动化程度等特性。精密设备的分类依据主要包括设备类型、功能、精度等级、使用环境及应用领域等。例如，高精度加工设备通常具有±0.01mm的精度等级，适用于精密制造