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CN115616384B 一种针对不同尺寸晶圆的测试装置及测量方法 （中国船舶集团有限公司第七〇九研究所）.docxVIP

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  • 2026-04-02 发布于山西
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CN115616384B 一种针对不同尺寸晶圆的测试装置及测量方法 （中国船舶集团有限公司第七〇九研究所）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利

    (10)授权公告号CN115616384B

    (45)授权公告日2025.06.03

    (21)申请号202211384402.7

    (22)申请日2022.11.07

    (65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN115616384A

    (43)申请公布日2023.01.17

    (73)专利权人中国船舶集团有限公司第七〇九研究所

    地址430074湖北省武汉市东湖新技术开

    发区凤凰产业园藏龙北路1号

    (72)发明人郑锋顾翼

    (74)专利代理机构武汉华之喻知识产权代理有限公司42267

    专利代理师曹杰方放

    (51)In

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