CN115841937B 炉口部结构、基板处理装置以及半导体装置的制造方法 (株式会社国际电气).docxVIP

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  • 2026-04-03 发布于山西
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CN115841937B 炉口部结构、基板处理装置以及半导体装置的制造方法 (株式会社国际电气).docx

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN115841937B

(45)授权公告日2025.05.06

(21)申请号202210870323.0

(22)申请日2022.07.18

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN115841937A

(43)申请公布日2023.03.24

(30)优先权数据

2021-1536682021.09.21JP

(73)专利权人株式会社国际电气地址日本东京都

(72)发明人森田慎也中岛诚世阿部贤卓原田和宏越保信野原慎吾

(74)专利代理机构北京银龙知识产权代理有限公司

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