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大行程MEMS微变形镜：原理、技术与应用进展探究

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代光学领域，MEMS微变形镜作为一种关键的光学器件，正发挥着日益重要的作用。随着光学成像技术在生命科学、海洋资源开发、天文观测、激光通信等众多领域的广泛应用，对光学系统性能的要求也越来越高。MEMS（Micro-ElectromechanicalSystem，微机电系统）技术的出现，为微变形镜的制备提供了新的途径，使得微变形镜在精度和可靠性方面逐渐得到保证。然而，目前传统的MEMS微变形镜在电动控制行程方面存在一定的局限性，较小的行程难以满足高分辨率成像与显示等应用场景不断增长的需求。

在生命科学领