CN119566554A 一种光电芯片表面高精度刻蚀方法及装置 （深圳市中科光芯半导体科技有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119566554A

(43)申请公布日2025.03.07

(21)申请号202510134326.1

(22)申请日2025.02.07

(71)申请人深圳市中科光芯半导体科技有限公

司

地址518100广东省深圳市龙岗区宝龙街

道宝龙社区宝龙四路2号安博科技宝

龙厂区6号厂房101

(72)发明人郑君雄

(74)专利代理机构广州海藻专利代理事务所

(普通合伙)44386

专利代理师李凯娜

(51)Int.Cl.

B23K26/362(2014.01)

B23K26/70(2014.01)

B23K101/40(200