CN115938898B 数据生成方法、带电粒子束照射装置以及计算机可读取的记录介质 (纽富来科技股份有限公司).docxVIP

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  • 2026-04-04 发布于山西
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CN115938898B 数据生成方法、带电粒子束照射装置以及计算机可读取的记录介质 (纽富来科技股份有限公司).docx

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN115938898B

(45)授权公告日2025.05.20

(21)申请号202210950737.4

(22)申请日2022.08.09

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN115938898A

(43)申请公布日2023.04.07

(30)优先权数据

2021-1307922021.08.10JP

(73)专利权人纽富来科技股份有限公司地址日本神奈川县

(72)发明人安井健一

(74)专利代理机构永新专利商标代理有限公司72002

专利代理师刘杰

(51)Int.Cl.

H01

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