CN116026489B 金属氮化物薄膜超声波温度传感器及测温方法 (武汉大学).docxVIP

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  • 2026-04-07 发布于山西
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CN116026489B 金属氮化物薄膜超声波温度传感器及测温方法 (武汉大学).docx

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN116026489B

(45)授权公告日2025.07.11

(21)申请号202310142659.X

(22)申请日2023.02.21

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN116026489A

(43)申请公布日2023.04.28

(73)专利权人武汉大学

地址430072湖北省武汉市武昌区八一路

299号

(72)发明人瓦西里·帕里诺维奇许畅杨兵曾晓梅张翔宇姜杨慧王晨阳张俊黄家辉

(74)专利代理机构武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙)

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