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INFICON INFICON晶体传感器和馈入件 Crystal12 说明书用户手册.pdf

INFICON INFICON晶体传感器和馈入件 Crystal12 说明书用户手册.pdf

    石英晶体传感器和馈入件

    ®

    Crystal12传感器

    ®

    INFICONCrystal12传感器对于需要连续速率控制的

    长过程至关重要。Crystal12传感器的一个传感头中包含

    12片石英监测晶片，无论在OLED、MBE、太阳能还是

    腔室通风间隔时间更长的其他过程中，都能确保安全

    性。与Cygnus2、IC6、XTC/3M、XTC/3S、SQC310或

    SQC310C一起使用时，无论当前使用的晶片何时失效或

    变得不稳定，Crystal12都能

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