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CCD的基本结构和工作原理

电荷耦合器件的突出特点是以电荷作为信号，而不同于其他多数器件是以电流或者电压

为信号。CCD的基本功能是电荷的存储和电荷的转移。因此，CCD工作过程的主要问题是信号

电荷的产生、存储、传输和检测。

CCD有两种基本类型：•是电荷包存储在半导体与绝缘体之间的界而，并沿界而传输，这

种器件称为表面沟道CCD（简称SCCD）：二是电荷包存储在离各导体表面一定深度的体内，

并在半导体体内沿一定方向传输，这种器件称为体沟道或者埋沟道器件（简称BCCD）。下面以

SCCD为主讨论CCD的基本工作原理。

1.CCD的基本结构

构成CCD的基本单元是MOS（金属一氧化物一半导体）结构。如图2-7（a）所示，它是

在p型Si衬底表面上用氧化的办法生成1层厚度约为IOOOA-1500A的Si。?,再在Si。？表面蒸

镀一金属层（多晶硅），在衬底和金属电极间加之1个偏置电压，就构成1个MOS电容器。当

有1束光线投射到MOS电容器上.时，光/穿