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- 2026-04-04 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN119956333A
(43)申请公布日2025.05.09
(21)申请号202510135860.4C30B29/36(2006.01)
(22)申请日2025.02.07
(71)申请人苏州龙驰半导体科技有限公司
地址215000江苏省苏州市高新区金山路
78号1-2幢Z101室B-216
(72)发明人柴利林
(74)专利代理机构北京科慧致远知识产权代理
有限公司11739
专利代理师赵红凯
(51)Int.Cl.
C23C16/458(2006.01)
H01L21/02(2006.01)
C23C16/32
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