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- 2026-04-05 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN120138813A
(43)申请公布日2025.06.13
(21)申请号202510136971.7C30B15/14(2006.01)
C30B29/06(2006.01)
(22)申请日2025.02.07
(71)申请人中能兴盛（香河）半导体精密制造有
限公司
地址065402河北省廊坊市香河县开发区
香明路2号
(72)发明人李端科李再兴张利王剑刚
(74)专利代理机构天津市鼎拓知识产权代理有
限公司12233
专利代理师孙键
(51)Int.Cl.
C30
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