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CN119805877A 一种基于曲率动态模糊曝光技术提高dmd数字光刻平滑度的方法 （安徽工程大学）.pdfVIP

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  • 2026-04-05 发布于重庆
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CN119805877A 一种基于曲率动态模糊曝光技术提高dmd数字光刻平滑度的方法 （安徽工程大学）.pdf

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119805877A

    (43)申请公布日2025.04.11

    (21)申请号202510140462.1

    (22)申请日2025.02.08

    (71)申请人安徽工程大学

    地址241000

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