紫外光图案化合成铌酸锂薄膜研究.pdfVIP

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紫外光图案化醇盐衍生的铌酸锂薄膜

YogoToshinobu,’TakeichiYoshikuni,KikutaKoichi,’和HiranoShin‑ichi

名古屋大学工学部应用化学系，名古屋464‑01

通过紫外线（UV）照射，成功合成了含有1‑苯基‑1,3‑丁二酮（PBD）的前驱体薄膜的图

案化铌酸锂（LN）薄膜。由乙醇锂和乙醇铌组成的LN前驱体溶液在乙醇中用PBD改性，

形成LiNb(OEt)6−n(PBD)，设计其在330nm处具有特定的UV吸收。前驱体薄膜在n

{phir∘

eC}衬底上于400°C开始结晶。前驱体薄膜中的330nmUV吸收带随着UV光照

时间的增加而强度减弱。在{phireC}衬底上于550°∘C结晶的图案化LN薄膜显示出

(006)优先取向。

一、引言

铌酸锂（LiNbO, LN）是一种铁电材料，具有多种吸引人的特性，如声学、压电、声光

3

和电光特性。近年来，高质量的LN薄膜因其在光学波导器件中的应用而受到广泛关注，

这些器件包括波混频、强度相位调制和集成光学中的高速开关。

单晶