CN120091617A 一种HfO2介电薄膜及无损转移HfO2介电薄膜的方法 (上海电力大学).pdfVIP

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  • 2026-04-06 发布于重庆
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CN120091617A 一种HfO2介电薄膜及无损转移HfO2介电薄膜的方法 (上海电力大学).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120091617A

(43)申请公布日2025.06.03

(21)申请号202510139753.9C23C16/40(2006.01)

C23C16/455(2006.01)

(22)申请日2025.02.08

(71)申请人上海电力大学

地址201306上海市浦东新区沪城环路

1851号

(72)发明人严宇佳林佳王振兴王峰

詹雪莹李渊华

(74)专利代理机构上海科盛知识产权代理有限

公司31225

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