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CN114068342B 检查装置的控制方法以及检查装置 （东京毅力科创株式会社）.docxVIP

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  • 2026-04-06 发布于山西
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CN114068342B 检查装置的控制方法以及检查装置 （东京毅力科创株式会社）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利

    (10)授权公告号CN114068342B

    (45)授权公告日2025.05.02

    (21)申请号202110875091.3

    (22)申请日2021.07.30

    (65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN114068342A

    (43)申请公布日2022.02.18

    (30)优先权数据

    2020-1352382020.08.07JP

    (73)专利权人东京毅力科创株式会社地址日本东京

    (72)发明人秋山直树中山博之

    (74)专利代理机构北京品源专利代理有限公司11332

    专利代理师吕琳朴秀玉

    (51)In

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