CN120018542A 一种氮化镓器件及其制备方法、模组、设备 （西安电子科技大学）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120018542A

(43)申请公布日2025.05.16

(21)申请号202510146129.1

(22)申请日2025.02.10

(71)申请人西安电子科技大学

地址710071陕西省西安市雁塔区太白南

路2号

(72)发明人祝杰杰钱禹辰马晓华李萌迪

秦灵洁郝跃

(74)专利代理机构西安嘉思特知识产权代理事

务所(普通合伙)61230

专利代理师刘长春

(51)Int.Cl.

H10D30/47(2025.01)

H10D62/10(2025.01)

H10D64/64(2025.01)

H10D30/0