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2026年半导体洁净室操作合规试卷及答案

一、单项选择题（每题3分，共15分）

1.半导体洁净室（ISOClass4级）作业人员进入前，洁净服穿戴的正确顺序是：

A.先穿洁净鞋→戴口罩→穿连体服→戴头罩→戴手套

B.先戴头罩→穿连体服→戴口罩→穿洁净鞋→戴手套

C.先穿连体服→戴头罩→戴口罩→穿洁净鞋→戴手套

D.先戴口罩→穿连体服→戴头罩→穿洁净鞋→戴手套

2.洁净室内传递非一次性工具时，需执行的关键操作是：

A.用普通湿巾擦拭后直接传递

B.经传递窗紫外线照射10分钟后传递

C.用75%酒精棉片正反面擦拭3次后放入传递窗

D.用去离子水冲洗后自然晾干传递

3.光刻工序操作人员发现手套有可见破损时，应立即：

A.用胶带临时粘贴破损处继续作业

B.退出洁净室更换新手套后返回

C.向班组长报告并原地等待处理

D.摘除破损手套，裸手操作5分钟内完成当前步骤

4.洁净室温湿度异常（温度25℃，湿度65%）时，正确的处理流程是：

A.继续作业，记录异常数据待班后汇报

B.暂停关键工序，通知HVAC系统工程师10分钟内到场

C.降低工艺设备功率，自行调整温湿度控制器

D.关闭相邻区域风阀，优先保证当前区域温湿度稳定

5.静电敏感元件（ESD等级100V）操作时，必须满足的防护要求是：

A.佩戴腕带（接地电阻1MΩ），工作台面铺设防静电台垫（表面电阻10^