热压成形玻璃微透镜阵列的宏微特征尺寸测量.docx

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热压成形玻璃微透镜阵列的宏微特征尺寸测量

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热压成形玻璃微透镜阵列的宏微特征尺寸测量

摘要:随着微纳光子技术的迅速发展,热压成形玻璃微透镜阵列在光学领域得到了广泛应用。本文针对热压成形玻璃微透镜阵列的宏微特征尺寸测量问题进行了深入研究。首先介绍了热压成形玻璃微透镜阵列的制作工艺及其在光学领域的应用背景,然后详细阐述了宏微特征尺寸测量的原理和方法,包括光学显微镜法、扫描电子显微镜法等。最后,通过实验验证了所提出方法的准确性和可靠

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