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MMF-YOLO晶圆模具表面微缺陷检测算法.docx

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    毕业设计（论文）

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    毕业设计（论文）报告

    题目：

    MMF-YOLO晶圆模具表面微缺陷检测算法

    学号：

    姓名：

    学院：

    专业：

    指导教师：

    起止日期：

    MMF-YOLO晶圆模具表面微缺陷检测算法

    摘要：随着微电子产业的快速发展，MMF-YOLO晶圆模具表面的微缺陷检测成为了保证产品质量的关键技术。本文针对该问题，提出了一种基于深度学习的微缺陷检测算法。首先，利用深度卷积神经网络提取图像特征，然后采用YOLO目标检测算法进行缺陷定位。针对晶圆模具表面微缺陷的特点，设计了一种改进的MMF-YOLO网络结构，有效提高了检测精度和速度。实

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