KINGSEMI：领先半导体工艺设备供应商.pdfVIP

芯源微电子设备KINGSEMICo.,Ltd.系统、服务和解决方

案商

KINGSEMICo.,Ltd是一家工艺设备供应商，由沈阳自动化于

2002年创立。

KINGSEMI先进的喷涂机、旋涂机和显影机在占有最大份额：300mm设备占90

%，200mm设备占60%。前五大的先进封装公司都是KINGSEMI的客户。

KINGSEMI的喷涂机已成功安装在最大的公司的生产线中。

KINGSEMI致力于通过卓越的产品和专业的技术服务实现客户完全满意。

喷涂机系统旋涂机与显影系统

•晶圆尺寸：300mm，200mm•晶圆尺寸：300mm，200mm

•涂膜均匀性：≤5%

•膜厚：1μm