《锗基前驱体中微量元素含量的测定 电感耦合等离子体质谱法》.docxVIP

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ICS

CCS

团体标准

T/CAQIXXX—2026

锗基前驱体中微量元素含量的测定电感耦合等离子体质谱法

Determinationoftraceelementcontentsingermanium-basedprecursors

byinductivelycoupledplasmamassspectrometry(ICP-MS)

(征求意见稿)

2026-XX-XX发布2026-XX-XX实施

中国质量检验协会发布

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前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。

请注意本文件的某些内容有可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由华兴中科标准技术(北京)有限公司提出。

本文件由中国质量检验协会归口。

本文件起草单位：

本文件主要起草人：

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锗基前驱体中微量元素含量的测定电感耦合等离子体质谱法

1范围

本文件规定了应用电感耦合等离子体质谱仪测定锗基前驱体中微量元素含量的测试范围、方法原理、试剂、仪器设备、样品制备条件要求、试验方法、测试步骤、结果的计算与表述、精密度、质量保证和控制。

本文件适用于各种常温