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- 2026-04-12 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN120127006A
(43)申请公布日2025.06.10
(21)申请号202510169534.5H01L21/311(2006.01)
H01L21/3213(2006.01)
(22)申请日2025.02.17
(71)申请人华虹半导体制造（无锡）有限公司
地址214112江苏省无锡市新吴区新洲路
30-1号
申请人华虹半导体（无锡）有限公司
上海华虹宏力半导体制造有限公司
(72)发明人邱儒猛张蕾黄浩赵鑫栋
王文强潘嘉杨继业
(74)专利代理机构上海浦一知识产
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