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CN120109033A 扩片后晶圆map图生成方法、装置、设备及存储介质 （武汉罗博半导体科技有限公司）.pdfVIP

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  • 2026-04-12 发布于重庆
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CN120109033A 扩片后晶圆map图生成方法、装置、设备及存储介质 （武汉罗博半导体科技有限公司）.pdf

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN120109033A

    (43)申请公布日2025.06.06

    (21)申请号202510173484.8

    (22)申请日2025.02.17

    (71)申请人武汉罗博半导体科技有限公司

    地址430200湖北省武汉市东湖高新技术

    开发区大学园路20号武汉普天科技园

    1幢3层302室

    (72)发明人梅爽李明炜王祥铜华凯

    胡彦潮

    (51)Int.Cl.

    H01L21/66(2006.01)

    权利要求书2页说明书8页附图4页

    (54)发明名称

    扩片后晶圆map图生成方法、装置、设备及存

    储介质

    (57)摘要

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