CN120162897A 一种气浮平台基板变形在线调控方法及系统 （华中科技大学）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120162897A

(43)申请公布日2025.06.17

(21)申请号202510171247.8

(22)申请日2025.02.17

(71)申请人华中科技大学

地址430074湖北省武汉市洪山区珞喻路

1037号

(72)发明人陈建魁孔德义白坤尹周平

谢明

(74)专利代理机构华中科技大学专利中心

42201

专利代理师尹丽媛

(51)Int.Cl.

G06F30/17(2020.01)

G06F17/10(2006.01)

G06F17/12(2006.01)

G06F17/16(2006.01)