CN120060972A 一种晶片分离装置及晶片分离方法 （海目星激光科技集团股份有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120060972A

(43)申请公布日2025.05.30

(21)申请号202510168983.8

(22)申请日2025.02.17

(71)申请人海目星激光科技集团股份有限公司

地址518000广东省深圳市龙华区观湖街

道鹭湖社区观盛五路科姆龙科技园B

栋301(一照多址企业)

(72)发明人刘依婷黄健宏孙玉芬

(74)专利代理机构深圳中创智财知识产权代理

有限公司44553

专利代理师王活涛

(51)Int.Cl.

C30B29/36(2006.01)

C30B35/00(2006.01)