《半导体用不锈钢洁净管技术要求》-征求意见稿_.docxVIP

ICS77.140.75CCSH64

CIEP

中国工业环保促进会团体标准

T/CIEPXXXX—XXXX

半导体用不锈钢洁净管技术要求

Technicalspecificationforstainlesssteelcleantubesforsemiconductorapplications

（工作组讨论稿）

XXXX-XX-XX发布XXXX-XX-XX实施

中国工业环保促进会发布

T/CIEPXXXX—XXXX

I

目次

前言 II

1范围 3

2规范性引用文件 3

3术语和定义 3

4材料与制造 3

5尺寸与公差 4

6表面特性（确认或修改指标数值 5

7性能要求 5

8试验方法 6

9检验规则 6

10包装 6

11标志 6

12贮存 7

T/CIEPXXXX—XXXX

II

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。

本文件由中国工业环保促进会提出并归口。

本文件起草单位：XXX