《光刻胶剥离液》团体标准 编制说明.pdf.docxVIP

《光刻胶剥离液》

团体标准（征求意见稿）

编制说明

标准编制工作组

2026年1月

目录

一、任务来源 1

二、编制背景和目的 2

三、编制过程 4

四、主要起草单位及起草人所做的工作 4

五、标准的编制原则 5

六、标准主要内容 5

七、标准水平分析 5

八、与现行法律法规和相关标准的协调情况 7

九、重大分歧意见的处理经过和依据 7

十、标准作为推荐性或强制性标准的建议 7

十一、贯彻标准的要求和措施建议 7

十二、废止现有有关标准的建议 7

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一、任务来源

当前，半导体与显示面板产业正处于技术迭代加速、市场规模持续扩张的关键时期，光刻胶剥离液作为微电子制造过程中的核心辅助材料，直接影响芯片制程精度、器件可靠性与产品良率。随着5G通信、人工智能、高端显示等下游应用领域对半导体器件集成度、显示分辨率的要求不断提升，市场对光刻胶剥离液的剥离效率、选择性、兼容性及环境安全性等性能指标提出了更为严苛的要求。然而，行业内缺乏统一的技术规范，不同企业生产的剥离液在成分体系、性能参数、应用工艺等方面差异显著，导致上下游产业链在产品选型、质量验收、工艺适配等环节存在诸多障碍，不仅增加了企业的生产成本与技术风险，也制约了我国半导体材料产业的整体竞争力与规模化发展，制定统一的团体标准已成为