《光刻胶去除工艺技术成熟度评价规范》征求意见稿.pdf.docxVIP

ICS31.080.01CCSL55

团体标准

T/CAEEXX-2026

光刻胶去除工艺技术成熟度评价规范

Evaluationspecificationformaturityofphotoresistremovalprocesstechnology

(征求意见稿)

2026-XX-XX发布

2026-XX-XX实施

中国电子装备技术开发协会发布

T/CAEEXX-2026

目次

前言 II

1范围 3

2规范性引用文件 3

3术语和定义 3

4评价原则 3

5评价指标体系 4

6评价方法 5

6.1评价流程 5

6.2指标评分方法 5

6.3综合得分计算 6

6.4成熟度等级划分 6

7取值规则 6

7.1一般规定 6

7.2各指标取值细则 7

7.3特殊情况处理 7

8评价结果与报告 8

8.1评价结果判定 8

8.2评价报告内容 8

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定

起草