微电子领域的传感器集成技术研究.docxVIP

微电子领域的传感器集成技术研究

目录

一、内容概览．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

1.1研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

1.2国内外研究现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4

1.3研究内容与目标．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7

1.4技术路线与方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．8

二、微电子传感器基础理论．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．11

2.1传感器工作原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．11

2.2传感器性能指标．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12

2.3微电子制造工艺．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．15

三、传感器集成技术方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．16

3.1微系统集成技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．