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CN119347800B 一种晶圆清洗机械臂运动稳定性自适应调节系统及方法 （思恩半导体科技(苏州)有限公司）.docxVIP

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  • 2026-04-13 发布于山西
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CN119347800B 一种晶圆清洗机械臂运动稳定性自适应调节系统及方法 （思恩半导体科技(苏州)有限公司）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利

    (10)授权公告号CN119347800B

    (45)授权公告日2025.05.16

    (21)申请号202411930123.5

    (22)申请日2024.12.26

    (65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN119347800A

    (43)申请公布日2025.01.24

    (73)专利权人思恩半导体科技（苏州）有限公司

    地址215512江苏省苏州市常熟市碧溪街

    道通江路305号4号（6#车间）1-2层

    (72)发明人蔡永礼叶曲波王文和

    (74)专利代理机构苏州科权知识产权代理事务所(普通合伙)32561

    专利

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