原创力文档聚微银池离子泵安装操作手册
安装工具准备
第一步：请检查和准备下表所列通用工具
序号表1通用工具
1防护装备：无尘手套1双、口罩1只、防护服1套
2清洁工具：异丙醇1瓶、无尘擦拭布3张
3释放真空工具：胶袋1个、氮气
4真空工具：铝箔1卷
5检漏工具：三通阀1个、氦质谱检漏仪1台、氦气
6温度测量设备：K型热电偶1个、温度读取器1个
7无油前级泵组（如真空系统没有配备）：
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