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CN119395326A 一种微腔干涉仪原理的宽温高精度光学加速度敏感芯片、传感器及其制造方法 （上海拜安传感技术有限公司）.docxVIP

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  • 2026-04-14 发布于山西
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CN119395326A 一种微腔干涉仪原理的宽温高精度光学加速度敏感芯片、传感器及其制造方法 （上海拜安传感技术有限公司）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119395326A

    (43)申请公布日2025.02.07

    (21)申请号202510005267.8

    (22)申请日2025.01.03

    (71)申请人上海拜安传感技术有限公司

    地址201201上海市浦东新区卡园二路108

    号1幢

    申请人上海拜安半导体有限公司

    (72)发明人钟少龙郭智慧龙亮周伟郭凉杰

    (74)专利代理机构上海双诚知识产权代理事务所(普通合伙)31423

    专利代理师高利丹

    (51)Int.Cl.

    G01P15/03(2006.01)

    G01B11/02

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