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光学表面浅弱划痕的精细检测研究

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光学表面浅弱划痕的精细检测研究

摘要:光学表面是光学仪器和设备的关键组成部分,其质量直接影响到光学系统的性能。随着现代光学技术的快速发展,光学表面的精度要求越来越高,表面划痕等微小缺陷的检测成为了研究的热点。本文针对光学表面浅弱划痕的精细检测进行了深入研究,提出了一种基于光学干涉和图像处理相结合的检测方法。该方法首先利用干涉测量技术获取划痕的深度信息,然后通过图像处理技术对划痕的形状和大小进行

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