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高精度制造装备的自适应控制与闭环反馈体系

目录

内容概览．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

1.1研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

1.2国内外研究现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4

1.3主要研究内容与创新点．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6

高精度制造装备自适应控制系统基础．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9

2.1系统总体架构设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9

2.2关键部件辨识模型．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13

2.3自适应控制策略理论研究．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．15

基于状态的闭环反馈信号获取．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17

3.1精密传感器技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17

3.2工艺状态在线感知．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．20

3.3信号处理与特征提取