传感器与检测技术 光栅式传感器.pptxVIP

项目十光栅式传感器

01.光栅式传感器的结构02.光栅式传感器的工作原理03.光栅式传感器的应用

项目分析光栅是由大量等宽等间距的平行狭缝构成的光学器件。实物图及光栅刻线如图10.1所示。精制的光栅，在1cm宽度内刻有几千条乃至上万条刻痕。(a)(b)a.光栅实物b.光栅刻线（二维动画）图10.1光栅刻线

项目分析光栅的种类很多，按用途分可分为物理光栅和计量光栅。物理光栅利用的是光的衍射现象，用于光谱分析和光波波长的测定；计量光栅利用的是光的透射和反射现象，主要用于长度、角度、速度、加速度、振动等物理量的测量，分辨率高，适用于动态测量。本教材就计量光栅的结构和原理进行分析介绍。教学目标1.了解光栅传感器的结构及工作原理2.掌握光栅传感器的应用

10.1光栅式传感器的结构

计量光栅传感器按光的走向可分为透射式光栅和反射式光栅两类：透射式光栅通常是在光学玻璃表面上按一定间隔制成透光和不透光的条纹，如图10.2(a)所示；反射式光栅是在金属光洁的表面上用化学方法按一定间隔制成全反射和漫反射的条纹，如图10.2(b)所示。