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- 2026-04-15 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN120035163A
(43)申请公布日2025.05.23
(21)申请号202510177122.6H01L21/28(2025.01)
H10D64/01(2025.01)
(22)申请日2025.02.18
C23C14/08(2006.01)
(71)申请人深圳大学
C23C14/34(2006.01)
地址518000广东省深圳市南山区粤海街
道南海大道3688号
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