探索GaN及其掺杂材料的合成路径与性能表现:理论与实践
一、引言
1.1研究背景与意义
在现代半导体材料的发展历程中,氮化镓(GaN)凭借其卓越的性能脱颖而出,成为材料科学领域的研究焦点。自20世纪90年代以来,随着异质外延缓冲层技术的采用和GaN的P型掺杂技术的突破,GaN及其相关Ⅲ族氮化物半导体的研究取得了显著进展,开启了通向实际应用的大门,引发了全球范围内的研究热潮。
GaN属于宽禁带半导体材料,其禁带宽度高达3.4eV,相比第一代半导体材料硅(Si,禁带宽度1.1eV)和第二代半导体材料砷化镓(GaAs,禁带宽度1.43eV),具有明显优势。这种宽禁
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