常见PECVD镀膜色差片分析.pptVIP

常见PECVD镀膜色差片分析;;二、镀膜过程中硅片滑落或者碎裂

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;;四、片子部分发白;规则的，位置相同的;大家应该也有点累了，稍作休息;五、彩虹片;六、部分位置发黄片;

解决办法：

1、在产线员工插片前首先清除石墨舟里的碎片，插好片时要对石墨舟轻轻拍打，看是否存在片子没有卡到的现象，如有，及时调整，插片过程中，如有碎片，要及时清理出，同时在上舟时要尽量保持舟和机械臂、浆的平稳性。

2、当出现此种色差片的时候，我们首先要做的是要统计其色差片的次数，如果超过10pcs，我们就要对此舟进行跟踪：

一、检查舟的使用次数，如果到了工艺规定的使用寿命，立即对其停用，对其清洗；

二、检验舟的插片情况，可能会存在新人作业，插片不到位导致色差，确认无误；

三、检查片子在舟里的出处，看是否为我们工艺造成的色差（这个需要重新用一个好舟来验证），如果是，及时调整；

四、也有可能为新洗舟没有洗干净导致，及时对其停用，重新清洗。;七、整体发黄;谢谢大家！