CN120048752A 一种检测方法、装置、设备及存储介质 （深圳中科飞测科技股份有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120048752A

(43)申请公布日2025.05.27

(21)申请号202510179457.1G01N21/45(2006.01)

(22)申请日2025.02.18

(71)申请人深圳中科飞测科技股份有限公司

地址518109广东省深圳市龙华区观澜街

道新澜社区观光路1301-14号101、102

(72)发明人马砚忠张徐杨东袁明波

尉佩郁健陈鲁

(74)专利代理机构北京集佳知识产权代理有限

公司11227

专利代理师韩丽波

(51)Int.Cl.

H01L21/66(2006.01)

H01L