CN120033084A 一种超大尺寸用金刚石散热的硅器件及其制备方法 （化合积电(厦门)半导体科技有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120033084A

(43)申请公布日2025.05.23

(21)申请号202510180825.4C30B33/00(2006.01)

(22)申请日2025.02.19

(71)申请人化合积电（厦门）半导体科技有限公

司

地址361000福建省厦门市软件园三期诚

毅北大街56号402-17室

(72)发明人陈祺张星

(74)专利代理机构厦门原创专利事务所(普通

合伙)35101

专利代理师王伟龙

(51)Int.Cl.

H01L21/50(2006.01)

H01L23/373(2006.01)