CN119804489A 半导体晶圆检测光源的高精度动态光谱调制方法及系统 （深圳市晟大光电有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119804489A

(43)申请公布日2025.04.11

(21)申请号202510179232.6

(22)申请日2025.02.18

(71)申请人深圳市晟大光电有限公司

地址518000广东省深圳市宝安区石岩街

道上屋社区爱群路同富裕工业区8-6#

厂房一层、二层、三层、四层、五层

(72)发明人王敏军李国鑫

(74)专利代理机构深圳汉林汇融知识产权代理

事务所(普通合伙)44850

专利代理师刘临利

(51)Int.Cl.

G01N21/95(2006.01)

权利要求书4页说明书13页附图2