CN120006262A 一种芯片薄膜均匀旋转沉积装置及方法 (华南理工大学).pdfVIP

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  • 2026-04-16 发布于重庆
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CN120006262A 一种芯片薄膜均匀旋转沉积装置及方法 (华南理工大学).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120006262A

(43)申请公布日2025.05.16

(21)申请号202510183986.9

(22)申请日2025.02.19

(71)申请人华南理工大学

地址510641广东省广州市天河区五山路

(72)发明人喻婷婷黄文扬高欣雯张宇洋

曾繁鹏

(74)专利代理机构北京东方盛凡知识产权代理

有限公司11562

专利代理师张换君

(51)Int.Cl.

C23C16/458(2006.01)

C23C16/50(2006.01)

H10H20/01(2025.01)

权利要

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