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- 2026-04-16 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN120015662A
(43)申请公布日2025.05.16
(21)申请号202510183280.2H01L21/56(2006.01)
(22)申请日2025.02.19
(71)申请人苏州熹联光芯微电子科技有限公司
地址215600江苏省苏州市张家港杨舍镇
福新路1202号纳米产业园3号楼北侧1
层
申请人上海矽科雅科技有限公司
武汉矽科雅科技有限公司
(72)发明人孟葵南周秋桂王根成严海瑞
叶萌萌尤聪
(74)专利代理机构北京方圆嘉禾知识产权代理
有限公司11385
专利代理
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