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集成电路故障诊断：技术方法与质量保障

目录

内容概括．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

1.1研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

1.2发展现状与趋势．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5

1.3核心内容概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9

1.4论文结构安排．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10

集成电路基础．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13

2.1集成电路基本结构．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13

2.2常见失效模式．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．15

2.3故障影响分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．19

主要故障检测技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．21

3.1电气测试方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．