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光学元件加工与检测手册

第1章光学元件加工基础与工艺规范

1.1材料选择与预处理

在加工前，必须严格依据光学元件的工作波长、折射率及阿贝数，从石英、熔融石英、氟化钙等原材料中选择对应牌号的材料，例如加工632.8nm激光波长下的透镜时，必须选用折射率1.460且透过率大于99.9%的熔融石英，严禁使用含铁量超过0.01%的普通玻璃，否则会导致光轴偏斜和波前误差超标。预处理阶段需对材料进行干燥处理，去除吸附在表面的水分和挥发性有机物，对于高精密加工，干燥温度应控制在105℃-110℃，相对湿度低于5%的烘箱中加热2-4小时，并需用无尘布擦拭表面，防止残留水珠