CN120048765A 一种晶圆湿法减薄装置及减薄方法 (安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司).pdfVIP

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  • 2026-04-18 发布于重庆
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CN120048765A 一种晶圆湿法减薄装置及减薄方法 (安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120048765A

(43)申请公布日2025.05.27

(21)申请号202510196454.9

(22)申请日2025.02.21

(71)申请人安徽富乐德长江半导体材料股份有

限公司

地址244000安徽省铜陵市义安区南海路

21号

(72)发明人王刚韩五静

(74)专利代理机构铜陵市天成专利事务所(普

通合伙)34105

专利代理师李坤

(51)Int.Cl.

H01L21/67(2006.01)

H01L21/306(2006.01)

权利要求书2页说明书6页附图1

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