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JJF（冀）213-2023 关键尺寸扫描电子显微镜校准规范.docxVIP

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  • 2026-04-18 发布于河北
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JJF（冀）213-2023 关键尺寸扫描电子显微镜校准规范.docx

    中华人民共和国地方计量技术规范

    JJF（冀）213-2023

    关键尺寸扫描电子显微镜校准规范

    CalibrationSpecificationforCriticalDimensionScanningElectronic

    Microscopes

    2023-8-2发布2023-11-1实施

    河北省市场监督管理局发布

    关键尺寸扫描电子显微镜校准规范

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